ГЕТТЕРНЫЙ НАСОС ,
вакуумный насос, действие которого основано преимущественно на явлении хемосорбции откачиваемого газа геттером (титан, барий и т. п.). Различают геттерные насосы испарительные, ионно-геттерные, магнитные электроразрядные.
|
|
|
ГЕТТЕРНЫЙ НАСОС ,
вакуумный насос, действие которого основано преимущественно на явлении хемосорбции откачиваемого газа геттером (титан, барий и т. п.). Различают геттерные насосы испарительные, ионно-геттерные, магнитные электроразрядные.
|